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国家标准计划《锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

目录

项目进度

修订了以下标准

GB/T 11297.6-1989 （全部代替）

锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法

当前标准计划

20065635-T-469 暂缓

锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法

基础信息

计划号: 20065635-T-469
制修订: 修订
项目周期: 24个月
下达日期: 2006-07-05

标准类别: 方法
归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门: 国家标准委

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