国家标准计划《金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院半导体研究所 、德州学院 、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟 、江苏卓远半导体有限责任公司 、北京聚睿众邦科技有限公司 、吉林大学 、安徽光智科技有限公司 。