国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心 、北京智芯传感科技有限公司 、沈阳国仪检测技术有限公司 、浙江博亚精密机械有限公司 、中北大学 、北京必创科技股份有限公司 。

主要起草人 张威 、张亚婷 、于振毅 、陆学贵 、朱悦 、石云波 、李海斌 、程逸轩 、周浩楠 、陈得民 。