国家标准《玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法》 由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，TC279SC1（全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分会）执行 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国建筑材料科学研究总院 、漳州旗滨玻璃有限公司 、宣城晶瑞新材料有限公司 、冶金工业信息标准研究院 、中国建材检验认证集团股份有限公司 、中国建材检验认证集团（陕西）有限公司 、广东中科华大工程技术检测有限公司 、哈尔滨量具刃具集团有限责任公司量仪研究所 。

主要起草人 孟政 、刘静 、候英兰 、徐勇 、戴石锋 、汪洪 、梁慧超 、张继军 、张庆华 、代铮 、张卫星 、赵晋武 、郎岩梅 。