国家标准计划《纳米技术 微纳米位移测量 电涡流法》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，TC279SC2（全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分会）执行 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 西安热工研究院有限公司 、中国计量科学研究院 、西安交通大学 、安徽见行科技有限公司 、江苏方天电力科技有限公司 、中国科学技术大学 、天津大学 、上海微电子装备（集团）股份有限公司 。