国家标准计划《纳米技术 纳米尺度薄膜厚度测量 椭圆偏振法应用指南》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，TC279SC2（全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分会）执行 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 泰州飞荣达新材料科技有限公司 、东南大学 、南京大学海安高技术研究院 、泰州巨纳新能源有限公司 、南京大学等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC/TR 63258:2021。

采标中文名称:纳米技术 纳米尺度薄膜厚度测量 椭圆偏振法应用指南。