国家标准计划《纳米技术 纳米尺度薄膜厚度测量 椭圆偏振法应用指南》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，TC279SC2（全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分会）执行 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 泰州飞荣达新材料科技有限公司 、泰州学院 、东南大学 、泰州巨纳新能源有限公司 、南京师范大学 、海安南京大学高新技术研究院 、南京大学 、天津大学 、江苏迈纳德微纳技术有限公司 、南京极钼芯科技有限公司 、原集微科技（上海）有限公司 、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 、清华大学 、苏州职业技术大学 、苏州市计量测试院有限公司 。

主要起草人 刘宏微 、万浩 、吕俊鹏 、丁荣 、赵伟玮 、杨雨田 、崔月赢 、唐少春 、王欣然 、沈万福 、陆雪强 、卓福林 、吴菲菲 、郝玉峰 、曹俊诚 、孙皓 、何清 、谭智勇 、符张龙 、王意 、韩秀秀 、付晨 、邵悦 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC/TR 63258:2021。

采标中文名称:纳米技术 纳米尺度薄膜厚度测量 椭圆偏振法应用指南。