国家标准计划《薄膜厚度均匀性测量 原子力显微镜法》由 TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 凯伏绿能（西安）光电有限公司 、中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司等 。
20262141-T-604 正在起草
全国标准信息公共服务平台
