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行业标准《硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法》由全国有色金属标准化中心归口上报,主管部门为工业和信息化部

主要起草单位 中国计量科学研究院有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司

主要起草人 高英武斌等

目录

标准状态

基础信息

标准号
YS/T 839-2012
发布日期
2012-11-07
实施日期
2013-03-01
中国标准分类号
H68
国际标准分类号
77.120.99
77 冶金
77.120 有色金属
77.120.99 其他有色金属及其合金
归口单位
全国有色金属标准化中心
主管部门
工业和信息化部
行业分类

备案信息

备案号:38133-2013。

备案公告: 2013年第1号

起草单位

起草人

高英
武斌

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