行业标准《硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法》由全国有色金属标准化中心归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 中国计量科学研究院 、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司 。
主要起草人 高英 、武斌等 。
备案号：38133-2013。
备案公告： 2013年第1号 。
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