国家标准《电子工业用气体 5N氯化氢》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京华宇同方化工科技开发有限公司 、光明化工研究设计院 、信息产业部标准化四所 。

主要起草人 张吉瑞 、孙福楠 、刘筠 。