国家标准《电子工业用气体 四氟化硅》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 核工业理化工程研究院华核新技术开发公司 、佛山市华特气体有限公司 、绿菱电子材料（天津）有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、贵州大学 、西南化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 邓建平 、李于教 、傅铸红 、汤有伦 、崔学文 、方华等 。