国家标准《电子工业用气体 三氟甲烷》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建） 、广东华特气体股份有限公司 、浙江巨化股份有限公司 、高麦仪器公司 、浙江省化工研究院 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、大连大特气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、东莞市联臣电子科技有限公司 、天津长芦华信化工股份有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 陈熔 、林宇巍 、傅铸红 、杜汉盛 、叶红艳 、牛艳东 、史婉君 、孙福楠 、曲庆 、方华 、王鸿 、崔学文 、周朋云 。