行业标准《电子工业用气体 一氧化碳》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 西南化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、广东华南特种气体研究所有限公司等 。

主要起草人 万华 、王新鹏 、吴平修等 。

备案号：50574-2015。

备案公告： 2015年第7号 。