国家标准《电子工业用气体 硅烷》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 西南化工研究设计院有限公司 、浙江赛林硅业有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、高麦仪器公司 、天津长芦华信化工股份有限公司 、大连大特气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、上海计量测试研究院 、化工气体质检中心 、江苏中能硅业科技发展有限公司 、浙江中宁硅业有限公司 、南京亚格泰新能源材料有限公司 、浙江大学 、安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司 。

主要起草人 余京松 、杨智敏 、傅铸红 、杜汉盛 、孙福楠 、牛艳东 、李长富 、周朋云 、曲庆 、方华 、陈鹰 、常侠 、刘晓霞 、周延江 、高平洲 、徐昕 。