国家标准《电子工业用气体 六氟化钨》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 、厦门钨业股份有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、上海仪盟电子科技有限公司 。

主要起草人 郑秋艳 、江海风 、王占卫 、方兰兰 、林竹光 、王志信 、方华 、杨仁 、周鹏云 。