国家标准《电子工业用气体 氧》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 化工部西南化工研究院 。
GB/T 14604-1993 废止
GB/T 14604-2009 （全部代替）
本标准修改采用ITU国际标准：SEMI C3.16-88、C3.17-90。
采标中文名称:。
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