国家标准计划《表面化学分析 深度剖析 X射线光电子能谱法确定硅与氧化硅界面》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 季华实验室 、中国科学院化学研究所 、清华大学 、河南大学 、中国计量科学研究院 、北京化工大学 、北京师范大学 、中山大学 、广东工业大学等 。