国家标准计划《表面化学分析 X射线光电子能谱 氧化硅层厚度的测量》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。 拟实施日期：发布后3个月正式实施。

主要起草单位 季华实验室 、中国科学院化学研究所 、中国计量科学研究院 、中石化石油化工科学研究院有限公司 。

主要起草人 赵志娟 、王海 、范燕 、邱丽美 、谭军 、宋小平 、刘芬 、刘芬 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14701:2018。

采标中文名称:表面化学分析 X射线光电子能谱 氧化硅层厚度的测量。