国家标准计划《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。 拟实施日期：发布后3个月正式实施。

主要起草单位 中山大学 。

主要起草人 陈建 、杨慕紫 、谢方艳 、龚力 、张卫红 、盛世善 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO TR 15969-2021。

采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量。