国家标准化指导性技术文件登记项目《微机电系统（MEMS）技术 高深宽比微结构深度光谱反射测量法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布即实施。

主要起草单位 中国科学院微电子研究所 、天津大学 、中机研标准技术研究院（北京）有限公司 、合肥工业大学 、中央民族大学 、北京华创晨晶电子有限公司 、中国电子科技集团公司第四十九研究所 、中北大学 、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 、北京航天控制仪器研究所 、中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 、华中科技大学 、东南大学 、深圳中科精工科技有限公司 、中国电子科技集团公司第五十五研究所 、北京大学 、中国计量科学研究院 、上海理工大学 、南京理工大学 、安徽北方微电子研究院有限公司 、中国电科芯片技术研究院 、合肥知常光电科技有限公司 、深圳市昊岳科技有限公司 。

主要起草人 陈晓梅 、霍树春 、胡春光 、李根梓 、夏豪杰 、耿照新 、要彦青 、刘智辉 、辛晨光 、甘晓川 、刘福民 、臧仲明 、朱金龙 、周维虎 、曲扬 、王珊 、梁骁 、聂萌 、黄辉 、李雪 、杨芳 、赵会宁 、施玉书 、韩森 、高志山 、常赟 、马晋毅 、吴周令 、兰云港 。