国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 高深宽比微结构深度光谱反射测量法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布即实施。

主要起草单位 中国科学院微电子研究所 、天津大学 、中机生产力促进中心 、北京大学 、中国电子科技集团第四十九研究所 、中北大学 。