国家标准化指导性技术文件登记项目《微机电系统（MEMS）技术 高深宽比微结构深度光谱反射测量法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布即实施。

主要起草单位 中国科学院微电子研究所 、天津大学 、中机研标准技术研究院（北京）有限公司 、中北大学 、中国电子科技集团第四十九研究所 。

主要起草人 陈晓梅 、霍树春 、胡春光 、李根梓 、辛晨光 、刘智辉 。