《微机电系统（MEMS）技术 高深宽比微结构深度光谱反射测量法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。
国内尚未有相关的国家标准。
也未有有关MEMS高深宽比结构深度测量方法的国际标准。
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