国家标准《微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中北大学 、中机生产力促进中心 。

主要起草人 石云波 、唐军 、程红兵 、崔建功 、李海斌 、朱悦 。