国家标准计划《高深宽比微结构形态参数近红外显微干涉测量方法》由 TC487（全国光电测量标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 南京理工大学 、上海市计量测试技术研究院 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 、中国科学院微电子研究所 、中国计量科学研究院 、中国科学院空天信息创新研究院 、齐之明光电智能科技（苏州）有限公司 、南京智群光电技术有限公司 。