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《微机电系统（MEMS）技术偏转镜重复定位精度测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。

目录

基础信息

标准编号: 20253568-T-469
计划下达日期: 2025-08-06
项目周期: 与中文国家标准项目周期一致

归口单位: 全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位: 全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门: 国家标准委

翻译承担单位

中国科学院上海微系统与信息技术研究所等

国内外简要情况说明

国内外尚无相关标准，本标准外文版的制定，有利于国内外MEMS领域科学技术的持续交流，也有助于提高中国标准的国际影响力。

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