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国家标准《微机电系统(MEMS)技术 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法》 由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委

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主要起草人 王永胜曹诗亮尚克军李根梓刘韧汤一毛志平孙立宁王志广陈德勇杨旸要彦清张鲁宇鲁毓岚张新伟安志武郑冬琛路文一陈得民张红旗商艳龙李帆雅钱晓晨高峰

目录

标准状态

当前标准

GB/T 44514-2024 现行

微机电系统(MEMS)技术 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法

基础信息

标准号
GB/T 44514-2024
发布日期
2024-09-29
实施日期
2024-09-29
标准类别
方法
中国标准分类号
L59
国际标准分类号
31.080.99
31 电子学
31.080 半导体分立器件
31.080.99 其他半导体分立器件
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

采标情况

本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62047-31:2019。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第31部分:层状MEMS材料界面结合能的四点弯曲试验方法。

起草单位

起草人

王永胜
曹诗亮
刘韧
汤一
王志广
陈德勇
张鲁宇
鲁毓岚
郑冬琛
路文一
商艳龙
李帆雅
尚克军
李根梓
毛志平
孙立宁
杨旸
要彦清
张新伟
安志武
陈得民
张红旗
钱晓晨
高峰

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