国家标准《电子特气 氟甲烷》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 浙江省化工研究院有限公司 、昊华气体有限公司 、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 、衢州氟硅技术研究院 、中化蓝天氟材料有限公司 、福建久策气体股份有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、天津绿菱气体有限公司 、江西华特电子化学品有限公司 、苏州金宏气体股份有限公司 、上海申南特种气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、上海凡伟仪器设备有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、浙江东开半导体科技有限公司 、和立气体（上海）有限公司 、昆明广瑞达特种气体有限责任公司 、西南化工研究设计院有限公司 、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司 、西南化工研究设计院有限公司双流分公司 。

主要起草人 史婉君 、张建君 、方小青 、孙福楠 、付梦月 、侯玲玲 、郑秋艳 、董云海 、谭慧 、褚人财 、颜光清 、何经余 、曹素英 、傅铸红 、陈艳珊 、马建修 、程紧 、叶相平 、王新喜 、孙猛 、陈洁 、吴靓 、方华 、孙赟珑 、何波 、黄小强 、黄辉 、宫兵 、王大为 、易达文 、李阳 、梁永强 、梁成科 、高静 、吴克安 、白占旗 、徐娇 、叶树全 、赖晓峰 、方艾黎 、周鹏云 、张亮 。