国家标准《表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 北京师范大学 、中国计量科学研究院 、季华实验室 、国家纳米科学中心 。

主要起草人 吴正龙 、王海 、范燕 、徐鹏 、王梅玲 、张艾蕊 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 16531:2020。

采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法。