行业标准《真空技术 溅射离子泵》由全国真空技术标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 北京中科科仪技术发展有限公司 、沈阳真空技术研究所 。
主要起草人 朱国精 、邹蒙等 。
备案号：34895-2012。
备案公告： 2012年第2号 。
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