国家标准计划《真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 北京中科科仪股份有限公司 、沈阳汇真真空技术有限公司 、湘潭宏大真空技术股份有限公司 、浙江博亚精密机械有限公司 、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 、苏州六九新材料科技有限公司 、浙江博太粒子加速器有限公司 、北京精恒工控科技有限公司 、浙江伟航真空科技有限公司 、广东大宏新材料有限公司 、沈阳真空技术研究所有限公司 。

主要起草人 李赏 、张勤德 、宋海燕 、高阳阳 、宋青竹 、赵崇凌 、黄乐 、陈立 、陆学贵 、杨晓花 、袁方 、乔忠路 、张凤戈 、陆启明 、廖占武 、林刚直 、林隽雅 、李兵 、时剑文 、孙旭东 、马明全 、叶琳琳 、叶伟平 、操道垒 、张仁柱 、王玲玲 。