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国家标准计划《真空技术溅射离子泵性能参数的测量》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位北京中科科仪股份有限公司、沈阳汇真真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司。

目录

项目进度

修订了以下标准

GB/T 25755-2010 （全部代替）

真空技术溅射离子泵性能参数的测量

当前标准计划

20253958-T-604 正在起草

真空技术溅射离子泵性能参数的测量

基础信息

计划号: 20253958-T-604
制修订: 修订
项目周期: 16个月
下达日期: 2025-08-06

标准类别

方法

国际标准分类号

23.160

23 流体系统和通用件

23.160 真空技术

归口单位

全国真空技术标准化技术委员会

执行单位

全国真空技术标准化技术委员会

主管部门

中国机械工业联合会

起草单位

北京中科科仪股份有限公司

沈阳真空技术研究所有限公司

沈阳汇真真空技术有限公司

相近标准(计划)

GB/T 25755-2010 真空技术溅射离子泵性能参数的测量

JB/T 4081-2011 真空技术溅射离子泵

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