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行业标准《溅射离子泵技术条件》，主管部门为机械电子工业部。

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标准状态

基础信息

标准号: JB/T 4082-1991
发布日期: 1991-07-22
实施日期: 1992-07-01

主管部门: 机械电子工业部
行业分类: 无

备案信息

备案号：0926-1992。

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