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技术委员会
溅射离子泵型式与基本参数
行业标准-JB 机械
推荐性
有更新版
行业标准《溅射离子泵型式与基本参数》,主管部门为
机械电子工业部
。
目录
标准状态
发布
于 1991-07-22
实施
于 1992-07-01
废止
基础信息
标准号
JB/T 4081-1991
发布日期
1991-07-22
实施日期
1992-07-01
主管部门
机械电子工业部
行业分类
无
备案信息
备案号:0927-1992。
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