国家标准《真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量》 由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 北京中科科仪技术发展有限责任公司 、沈阳真空技术研究所 。

主要起草人 邹蒙 、张勤德 、朱国精 、马殿理 、李春影 。