行业标准《真空技术 复合分子泵》由全国真空技术标准化技术委员会归口上报,主管部门为国家发展和改革委员会。
主要起草单位 深圳大学 、北京中科科仪技术发展有限公司等 。
主要起草人 储继国 、张勤德等 。
备案号:21691-2007。