国家标准《椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法》 由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 上海交通大学 、纳米技术及应用国家工程研究中心 。

主要起草人 金承钰 、李威 、梁齐 、路庆华 、何丹农 、张冰 。