国家标准计划《表面化学分析 光谱椭偏术 岛状薄膜厚度及覆盖率测量方法》由 TC608(全国表面化学分析标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国科学院。
主要起草单位 华中科技大学 。
20262156-T-491 正在起草