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行业标准《磁控溅射设备通用技术条件》，主管部门为电子工业部。

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标准状态

基础信息

标准号: SJ/T 10478-1994
发布日期: 1994-04-11
实施日期: 1994-10-01

主管部门: 电子工业部
行业分类: 无

备案信息

备案号：0062-1994。

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