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半导体设备 集成电路制造用化学气相淀积设备(CVD)测试方法

行业标准-SJ 电子 推荐性 现行

行业标准《半导体设备 集成电路制造用化学气相淀积设备(CVD)测试方法》，主管部门为工业和信息化部。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止

基础信息

标准号
SJ/T 12023-2025
发布日期
2025-09-09
实施日期
2026-03-01
中国标准分类号
L 95
国际标准分类号
31-550
31 电子学
31.550 电子产品生产设备
主管部门
工业和信息化部
行业分类
无

备案信息

备案号：105961-2026。

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