行业标准《半导体设备制造信息标识要求》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、北京七星华创电子股份有限公司 、东莞市中镓半导体科技有限公司等 。

主要起草人 冯亚彬 、程朝阳 、钟华等 。

备案号：80908-2021。

备案公告： 2021年第3号 。

适用于半导体设备制造信息标识