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行业标准《低压化学气相淀积设备通用技术条件》，主管部门为电子工业部。

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标准状态

基础信息

标准号: SJ/T 10311-1992
发布日期: 1992-06-15
实施日期: 1992-12-01

主管部门: 电子工业部
行业分类: 无

备案信息

备案号：0006-1993。

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