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低压化学气相淀积设备通用技术条件

行业标准-SJ 电子 推荐性 现行

行业标准《低压化学气相淀积设备通用技术条件》，主管部门为电子工业部。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止

基础信息

标准号
SJ/T 10311-1992
发布日期
1992-06-15
实施日期
1992-12-01
主管部门
电子工业部
行业分类
无

备案信息

备案号：0006-1993。

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