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行业标准《晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式PECVD设备》，主管部门为工业和信息化部。

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标准状态

基础信息

标准号: SJ/T 11829.1-2022
发布日期: 2022-10-20
实施日期: 2023-01-01

中国标准分类号

L 95

国际标准分类号

31.55

31 电子学

主管部门

工业和信息化部

行业分类

无

备案信息

备案号：94236-2024。

备案公告： 2024年第5号。

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