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晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备

行业标准-SJ 电子 推荐性 现行

行业标准《晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备》，主管部门为工业和信息化部。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止

基础信息

标准号
SJ/T 11829.1-2022
发布日期
2022-10-20
实施日期
2023-01-01
中国标准分类号
L 95
国际标准分类号
31.55
31 电子学
主管部门
工业和信息化部
行业分类
无

备案信息

备案号：94236-2024。

备案公告： 2024年第5号 。

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