国家标准《电子特气 六氯乙硅烷》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 洛阳中硅高科技有限公司 、昊华气体有限公司 、亚洲硅业（青海）股份有限公司 、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 、福建久策气体股份有限公司 、湖州市南浔区佰通标准化研究院 、广东华特气体股份有限公司 、苏州金宏气体股份有限公司 、江西华特电子化学品有限公司 、北京高麦克仪器科技有限公司 、浙江博瑞电子科技有限公司 、玉门大洋天庆石化有限责任公司 、湖北和远气体股份有限公司 、三峡大学 、内蒙古兴洋科技股份有限公司 、福建德尔科技股份有限公司 、宁夏胜蓝化工环保科技有限公司 、武汉新硅科技潜江有限公司 、太和气体（荆州）有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 、上海申南特种气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、上海市计量测试技术研究院 、中国计量科学研究院 、宿州伊维特新材料有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、南大光电半导体材料有限公司 、上海凡伟仪器设备有限公司 、空气化工产品（中国）投资有限公司 、浙江炬和科技有限公司 、绍兴科艺标准技术咨询有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、浙江西亚特电子材料有限公司 、浙江东开半导体科技有限公司 、和立气体（上海）有限公司 、昆明广瑞达特种气体有限责任公司 、衢州杭氧特种气体有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 万烨 、王娟 、张园园 、付梦月 、严大洲 、郭琼 、陈海宝 、魏东亮 、柳彤 、沙婷 、曹素英 、陈辉 、张天泽 、廖恒易 、陈艳珊 、金向华 、孙猛 、傅铸红 、欧基友 、牛艳东 、刘丽娜 、张广第 、马彬淇 、杜大艳 、曹小林 、方强 、袁有录 、陶刚义 、杨华志 、华祥斌 、李纪明 、沈俊 、李楷东 、阳辉 、汪正宏 、常侠 、罗旭 、陈洁 、吴靓 、方华 、孙小伟 、姚显章 、李春华 、姜阳 、尹冬梅 、胡树国 、秦远望 、何波 、杨康 、黄辉 、陈德义 、王晶 、李倩 、董硕 、顾大正 、宫兵 、王大为 、杨利 、钱叶超 、吴乾康 、梁永强 、梁成科 、高静 、毛玲玲 、马昌宁 、赵刚 、赖晓峰 、周鹏云 。