国家标准计划《氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后10个月正式实施。

主要起草单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、苏州纳维科技有限公司 。

主要起草人 刘争晖 、钟海舰 、徐耿钊 、樊英民 、邱永鑫 、曾雄辉 、王建峰 、徐科 。