国家标准《表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 上海交通大学 、上海市计量测试技术研究院 、上海大学 、中国计量科学研究院 、吉林大学 、南京景曜智能科技有限公司 。

主要起草人 沈轶 、孙洁林 、蔡潇雨 、李源 、胡钧 、李适 、马志超 、王春梅 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 13095:2014。

采标中文名称:表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序。