国家标准《化学气相沉积用硅喷射管》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、有研半导体硅材料股份公司 。

主要起草人 祝建敏 、郑小松 、敖丹 、刘志彪 、龚益文 、顾燕滨 、尚明达 、贺东江 、朱晓彤 。