行业标准《化学气相沉积炉》，主管部门为工业和信息化部。
备案号：103191-2025。
备案公告： 2025年第12号 。
本文件规定了化学气相沉积炉的结构型式与组成、技术要求、试验方法、检验规则和技术分级、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于制备金属及金属合金材料、金属复合材料、碳及碳化硅材料、无机材料等的化学气相沉积炉
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