行业标准《化学气相沉积炉》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 湖南顶立科技有限公司 、中国有色金属工业标准计量质量研究所等 。

主要起草人 戴煜 、胡祥龙 、胡高健等 。

备案号：50342-2015。

备案公告： 2015年第7号 。

本标准适用于化学气相沉积。