行业标准《等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管》由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 上海强华石英有限公司 、久智光电子材料科技有限公司等 。
主要起草人 张葆青 、白凤茹等 。
备案号：47746-2014。
备案公告： 2014年第12号 。
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