国家标准计划《表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。 拟实施日期：发布后10个月正式实施。
主要起草单位 北京师范大学分析测试中心 、清华大学分析中心 。
主要起草人 吴正龙 、姚文清 。
20131700-T-469 已发布
| 71 化工技术 |
| 71.040 分析化学 |
| 71.040.40 化学分析 |
本标准等同采用ISO国际标准：ISO/TR 22335:2007。
采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率。
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