国家标准计划《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 上海交通大学 、纳米技术及应用国家工程研究中心 。

主要起草人 李慧琴 、梁齐 、路庆华 、何丹农 、张冰 。