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行业标准《金刚石刀具刃口锋利度的原子力显微镜测量方法》由核工业标准化研究所归口上报,主管部门为国家国防科技工业局

主要起草单位 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所复旦大学哈尔滨工业大学天津大学上海舒伯哈特金刚石刀具有限公司中国工程物理研究院激光聚变研究中心中国工程物理研究院材料研究所

主要起草人 岳晓斌徐敏孙涛房丰洲俞蓓莉雷大江游雾张剑锋田国玉张晓峰刘波崔海龙

目录

标准状态

基础信息

标准号
EJ/T 20176-2018
发布日期
2018-01-18
实施日期
2018-05-01
中国标准分类号
F85
国际标准分类号
27.120.99
27 能源和热传导工程
27.120 核能工程
27.120.99 有关核能的其他标准
归口单位
核工业标准化研究所
主管部门
国家国防科技工业局
行业分类

备案信息

备案号:62482-2018。

备案公告: 2018年第5号

适用范围

本标准规定了使用原子力显微镜测量金刚石刀具刃口锋利度的测量原理、测量要求、测量步骤、数据处理及检测报告。本标准适用于20nm~100nm金刚石车刀刃口锋利度的测量,100nm以上刀具刃口锋利度测量也可参照执行。

起草单位

起草人

岳晓斌
徐敏
俞蓓莉
雷大江
田国玉
张晓峰
孙涛
房丰洲
游雾
张剑锋
刘波
崔海龙

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