注册

国家标准《硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 有研半导体材料股份有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所

主要起草人 孙燕李莉卢立延翟富义向磊

目录

标准状态

当前标准

GB/T 29505-2013 现行

硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

基础信息

标准号
GB/T 29505-2013
发布日期
2013-05-09
实施日期
2014-02-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

孙燕
李莉
向磊
卢立延
翟富义

相近标准(计划)